超高级别微电子洁净厂房的测试
超高级别微电子洁净厂房中各种环境参数(洁净度,温/湿度,风量,风速,压差等)对微电子行业的工艺有着至观重要的作用,直接影响产品的质量.本文介绍了和超高级别微电子洁净厂房有关的分级标准,并且通过对一座大型半导体生产厂0.1微米1级洁净厂房的实际测试,总结了测试超高级别洁净厂房的一般测试项目,并对测试方法和采用的主要仪器进行了总体介绍.
洁净室 微电子厂房 分级标准 测试项目
刘俊杰 张志辉 高志红
天津大学
国内会议
北京
中文
1001-1004
2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）