基于二维微动平台的驱动电源设计

摘要：

压电陶瓷驱动器在电场作用下将产生迟滞和蠕变,从而降低其定位精度,采用电荷控制可以减小位移迟滞和蠕变.本文简要介绍了二维微动平台的总体设计,根据系统的特点及要求,设计了电荷反馈式驱动电源。

关键词： 压电陶瓷驱动器 二维微动平台 电荷反馈 驱动电源

作者: 刘波 蒋家东

作者单位: 机械制造工艺研究所,绵阳,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 贵阳、沈阳

会议语种:中文

页码: 2623-2624

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）