力敏传感器专用工艺装备研究

摘要：

”力敏传感器专用工装设备”研究是国家关于”传感器产业化技术”研究的重大项目之一,是研制、开发和生产高性能传感器的技术保障.其工艺水平的高低直接决定传感器产品的性能和质量.本文从攻关解决的关键技术、创新点、技术水平及对我国传感器产业技术进步的影响、知识产权等角度介绍力敏传感器科研生产所必需的几台关键设备的攻关成果及所取得的技术水平和主要成绩.

关键词： 力敏传感器 专用设备 工艺装备

作者: 刘沁 陈信琦 叶挺

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,沈阳,110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第八届青年学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 304-306

在线出版日期: 2006-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）