压电传感器材料的铁电特性研究

摘要：

本文采用溶胶-凝胶工艺制备了不同Mn离子掺杂浓度的PZT薄膜.研究了不同掺杂浓度对压电传感器薄膜铁电特性的影响.试验结果表明:当Mn离子含量较少时,Mn在PZT中主要表现施主掺杂特性,薄膜铁电性能提高;而当浓度增大时,薄膜性能降低.

关键词： 压电材料 铁电性 压电传感器 溶胶凝胶 薄膜性能

作者: 邵春玉 王兢 刘梦伟 董维杰

作者单位: 大连理工大学电子与信息工程学院,大连,116023 大连理工大学电子与信息工程学院,大连,116023;辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学,大连,116023 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学,大连,116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第八届青年学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 302-303

在线出版日期: 2006-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）