化学过滤器在洁净空调技术中的应用

摘要：

微电子工业工序复杂性的增加和产品制程线宽的缩小,气态分子污染物(AMC)对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题.为清除空气中的AMC,过滤器厂家推出了化学过滤器产品.本文介绍了AMC的分类和监测方法,化学过滤器原理和结构,以及在洁净空调中的应用.

关键词： 化学过滤器 洁净空调 气态分子污染物

作者: 田世爱 于自强

作者单位: 烟台宝源净化有限公司,264003

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届国际污染控制学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1444-1454

在线出版日期: 2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）