IC工厂超纯水系统典型流程及主要操作要求

摘要：

本文根据某工厂制备18.2MΩ以上的纯水站为例,介绍纯水生产过程中各个设备的基本功能以及主要操作要求.

关键词： 超纯水系统 典型流程 主要操作

作者: 侯忆 杨飞

作者单位: 中国电子系统工程第二建设有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届国际污染控制学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1425-1433

在线出版日期: 2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）