超大工件激光精密加工质量控制

摘要：

本文研究了超大工件激光精密加工飞行光学(flying optics)高斯光束聚焦特性。理论研究表明:将某一特定谐振腔的瑞利长度ZR取代q参量虚部的光斑尺寸ω时,q参量的ABCD定律可以从基模推广到高阶模或几个模的叠加,并推导出飞行光学实际焦距与几何焦距之差△f的计算公式。为了精确控制飞行光学聚焦特性,研制了一台超大工件激光精密加工质量控制仪,实验和理论一致。

关键词： 超大工件 激光精密加工 质量控制仪 飞行光学 光束聚焦特征

作者: 程兆谷 张志平

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海市嘉定区清河路390号,上海,201800

会议类型: 国内会议

会议名称: 长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 34-40

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）