IC工厂的防微振设计

摘要：

集成电路(IC)工厂设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位.防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用科学的方法,解决防微振问题.

关键词： 微污染控制 防微振技术 集成电路工厂

作者: 俞渭雄 陈骝 娄宇

作者单位: 中国电子工程设计院,北京,100840

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届国际污染控制学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 583-604

在线出版日期: 2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）