薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD洁净室净化空调系统初探

摘要：

第5代LCD液晶显示器件洁净室的布置一般采用三层结构形式，即底层为回风静压箱以及工艺设备的附属配管、配线区，中层为生产工艺洁净区，上层为送风静压箱。本文对TFT-LCD工厂洁净室的净化空调系统的设计考虑进行探讨。

关键词： TFT-LCD 生产环境控制 净化空调系统 洁净室 液晶显示器

作者: 肖红梅

作者单位: 中国电子工程设计院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届国际污染控制学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 565-573

在线出版日期: 2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）