中国半导体工厂高纯气体的应用状况

摘要：

高纯气体广泛应用于电子产品--半导体集成电路、TFT-LCD电真空器件、光电器件和光导纤维等生产过程,但是半导体集成电路生产所需高纯气体的品种多、用量较大、纯度和杂质含量要求十分严格,本文根据多年的工程实践,结合近年来我国一批新建半导体集成电路工厂建成投产情况,对我国半导体高纯气体的应用状况进行描述。

关键词： 半导体工厂 高纯气体 半导体集成电路 高纯气体输送 供气安全

作者: 陈霖新

作者单位: 中国电子工程设计院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届国际污染控制学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 545-553

在线出版日期: 2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）