8”、12”集成电路厂房洁净室设计探讨

摘要：

随着工艺生产技术的不断发展,IC生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格,说到环境首当其冲的是洁净室,8”、12” IC生产无论对洁净度、温湿度还是空气中分子级污染物(AMC)、防微振、防静电等都有极严格的要求,有些苛刻的要求甚至使某些传统的做法受到挑战.本文探讨集成电路厂房洁净室设计，包括，1 洁净室形式，2 空气处理及温湿度保证，3 空气中分子级污染物(AMC)控制，4 洁净室排烟问题，5 节能问题。

关键词： 集成电路厂房 洁净室 空气分子级污染 排烟通风 空气处理

作者: 秦学礼

作者单位: 中国电子工程设计院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届国际污染控制学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 521-531

在线出版日期: 2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）