再谈乱流(非单向流)洁净室的气流组织
乱流(非单向流)洁净室的净化空调原理是:经空调器预过滤和热湿处理的空气再经洁净室吊顶上的高效过滤器过滤后送入洁净室内,送入室内的洁净空气迅速向四周扩散、混合;稀释室内的污染,抵消室内产生的热和湿,再由回风口到空调器.这样不间断的循环以达到室内含尘浓度和热湿的动态平衡,来保证生产工艺对乱流洁净室所要求的洁净度和温湿度. 单从气流组织角度来讨论:单向流(层流)洁净室的气流是比较单纯的,其定义是:经过满布于吊顶(墙)上的高效空气过滤器过滤的洁净空气,沿着单一的方向,并以一定的断面风速流动的平行气流.其又有垂直单向流和水平单向流之分,它的净化原理是活塞式的挤压和置换.所有高级别(1级、10级、100级等)洁净室的气流都是由单向流构成.而矢流(对角流、辐射流、放射流)洁净室的气流组织相对较复杂,除了必须具备有圆弧形高效过滤器之外,还要考虑送风口的相对位置,高度以及房间长宽比等,而且在目前的工程中应用也不广泛.本文章的重点还是讨论乱流(非单向流)洁净室的送回风方式.
乱流洁净室 气流组织 送回风方式 顶送顶回气流组织 空气过滤器
张利群
中国电子工程设计院
国内会议
北京
中文
494-500
2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）