晶圆厂AMC监测和控制计划的评估

摘要：

一晶圆厂制定了空气监测计划,目的是确定室外空气质量特性及其对生产工艺的影响.该厂的技术是90nm的技术,因此悬浮分子污染物(AMC),特别是酸性污染受到特别的关注.鉴定空气质量所采用的技术包括有撞击器离子分析,被动和实时反应监测和石蕊试纸颜色识别等.对各种监测技术过去取得的数据进行了评估和比较,测定其适用性.该监测计划得到的数据还提供了能够对安装在补充风处理器中的化学过滤器除掉AMC的能力进行评估的机会.

关键词： 室外空气 生产工艺 浮分子污染物 酸性污染

作者: Chris Muller See Boon Tan

作者单位: Purafil,Inc.(美) STMicroelectronics,(新加坡)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届国际污染控制学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 342-350

在线出版日期: 2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）