使用湿膜装置的高效率悬浮分子污染除去系统
现在,在最尖端的洁净室,对空气中的悬浮分子污染(AMC;Airborne Molecular Contaminants)进行控制是不可缺少的.作为控制技术之一,有对室外空气中的AMC进行除去的技术,就是把AMC除去装置编入用于处理新风的空调机组,来降低被引进洁净室内的室外空气中AMC的含量.最具有代表性的方法是使用化学过滤器,但是它存在着以下的问题，由于除去容量有限度,需要定期交换。使用完的化学过滤器成为工业废弃物,需要处理。本文探讨使用湿膜装置的高效率悬浮分子污染除去系统。
洁净室 湿膜装置 悬浮分子污染 对向流 喷雾方式 气液接触面积
明永 凤七郎 田村 一 海老根 猛 西川 昌克 田浦 浩之
日本菱和科技株式会社 日本湿王株式会社
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327-332
2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）