前开口一体片盒的AMC定性

摘要：

为了确定FOUP内的有机污染物,针对两种取样方法进行了测试.一种方法是使用FOUP底部的两个端口.纯氮被引入FOUP,与出口端相连的吸附管对气悬浮分子污染物进行收集.另一种方法是在FOUP内安装无源敏感采样器.用这两种方法收集的有机污染物均采用GC-MS进行测定.吹氮法和无源抽样法对确定FOUP中的污染物均有效.此外,实验结果表明,FOUP周围的环境会严重影响到FOUP中的洁净度.

关键词： 有机污染物 无源敏感采样器 吹氮法 无源抽样法 前开口一体片盒

作者: Hirofumi FUJII Toshikazu TAIRA Yasuko SAKAMOTO Akikazu SHIRANE Mikio HASEGAWA Kikuo TAKEDA Taketoshi FUJIMOTO

作者单位: Sumika 化学分析服务有限公司 9-1 Kitasode,Sodegaura,Chiba,299-0266,Japan Sumika化学分析服务有限公司 4-6-17 Kohrai-bashi,Chuo-ku,Osaka,541-0043,Japan

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届国际污染控制学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 178-183

在线出版日期: 2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）