基于DSMC方法的圆弧通道盘型分子泵3D流场数值模拟

摘要：

本文采用DSMC方法对圆弧通道盘型分子泵3D流场进行了数值模拟研究.首先,介绍了圆弧通道盘型分子泵的几何模型;接下来描述了使用DSMC方法进行圆弧通道盘型分子泵3D流数值模拟需解决的几个问题;最后讨论了不同结构、转速、圆盘表面反射模型对抽气性能的影响,并对圆弧通道盘型分子泵的设计提出了指导性意见.

关键词： 盘型分子泵 圆弧通道 3D流场 数值模拟

作者: 刘波 巴德纯 钟亮

作者单位: 东北大学机械工程与自动化学院,沈阳,110004;沈阳工业大学工程学院,辽阳,111003 东北大学机械工程与自动化学院,沈阳,110004

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空冶金与表面工程学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 338-342

在线出版日期: 2007-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）