微颗粒表面磁控溅射镀金属膜

摘要：

本文采用磁控溅射方法,开展了在微颗粒表面镀金属膜的实验研究.研究开发了一种在微颗粒表面真空镀金属膜的方法及设备,微颗粒包括空心微珠、不同粒度的碳化硅微粉等,所镀的金属包括:铝、银、铜、钴、镍等.实验与分析结果表明,通过控制微颗粒的运动方式,采用磁控溅射镀金属膜,可以在微颗粒表面镀上均匀性好、附着力强和致密性好的金属膜.

关键词： 微颗粒 表面磁控溅射 金属膜

作者: 沈志刚 徐政 俞晓正

作者单位: 北京航空航天大学粉体技术北京市重点实验室,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国颗粒学会2006年年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 193-197

在线出版日期: 2006-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）