直流辉光放电等离子体鞘层流体动力学模拟

摘要：

本文利用流体动力学方法,对直流辉光放电阴极鞘层区域氮离子输运过程进行了数值模拟研究,将离子与中性分子间的动量交换碰撞引入离子在阴极鞘层区的运动方程,讨论了不同气压、不同初始离子密度比例对氮等离子体阴极鞘层区N+、N2+离子和电子密度、电位、电场强度沿鞘层轴向分布的影响.

关键词： 流体动力学 直流辉光放电 鞘层 数值模拟

作者: 姚红冉 李明 吕少波 张海明 蔺增 巴德纯

作者单位: 东北大学,辽宁,沈阳,110004 东北大学,辽宁,沈阳,110004;塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室,湖北武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空冶金与表面工程学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 285-290

在线出版日期: 2007-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）