含氢非晶碳膜可见光拉曼与紫外拉曼光谱的对比研究

摘要：

本文利用等离子体增强化学气相沉积技术,在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)树脂片上沉积了含氢非晶碳(a-C:H)膜,利用可见光和紫外激发双波段的拉曼光谱分析了所沉积薄膜的结构特征,并对两种拉曼光谱进行了比较研究.测试分析结果表明,紫外拉曼光谱能够很好地屏蔽掉由于薄膜含氢量较多所带来的光致发光效应的影响,更好地表征含氢非晶碳膜的结构.

关键词： 含氢非晶碳膜 可见光拉曼 紫外拉曼 光致发光效应

作者: 王凤 李明 周福君 蔺增 巴德纯

作者单位: 东北大学,辽宁沈阳,110004 东北大学,辽宁沈阳,110004;塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室,湖北武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届真空冶金与表面工程学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 260-265

在线出版日期: 2007-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）