采用ZnO压电薄膜制作高频声表面波滤波器的研究

摘要：

声表滤波器件正在向着高频化、小型化、低插损和集成化的方向发展,而多层薄膜声表面波滤波器有利于实现高频化和集成化.目前研究的比较多的薄膜材料有ZnO、ALN、PbTiO3、PZT等压电薄膜.本文对不同工艺条件下淀积ZnO薄膜对声表面波器件特性的影响进行了相关的研究.

关键词： 压电薄膜 表面波 滤波器

作者: 范子坤 陈晓阳 杨成韬

作者单位: 北京长峰声表面波公司 电子科技大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2006年全国声学学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 225-226

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）