多点源光热法表征硅/金刚石薄膜的热学性质

摘要：

金刚石薄膜的热学性质的准确测量一直是物理学领域中的研究热点之一.由于传统的接触式测量方法受到材料几何尺寸的限制并不适用,而光学方法具有快速、非接触式等特性,近二十年来已先后有多种光学方法应用到薄膜材料的热学参量的表征,其中较为突出的是利用激光在薄膜表面激发瞬态热栅的技术.本文在此基础上,提出了利用多点源光热法表征金刚石薄膜的热学性质,建立了相应的数学模型并测量了硅基底上沉积的金刚石薄膜的热扩散系数.

关键词： 多点源光热法 金刚石薄膜 热学性质

作者: 马頔 徐晓东 郭保光 张淑仪

作者单位: 南京大学声学所,近代声学实验室,南京,210093 南京大学声学所,近代声学实验室,南京,210093;韦恩州立大学,物理系,密歇根州底特律市,48202,美国

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2006年全国声学学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 223-224

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）