电极对高次谐波体声波谐振器中心频率的影响
在一些现代电子对抗设备(特别是机载设备)中需要具备频率捷变性的微波稳频源作为本机振荡源,同时还要求稳频源具有输出相位噪声低、体积小、重量轻以及工作频率高等性能.高次谐波体声波谐振器(High-overtone Bulk Acoustic Resonator-HBAR)具有工作频率高、Q值高以及体积小的特点,可以很好的满足此项需要.HBAR器件是一种采用压电薄膜体声波换能器和低损耗晶体谐振腔复合结构的器件,它能在微波频段提供多个高Q值的谐振点,其中心频率主要由压电薄膜体声波换能器的特性决定”2”.在体材料压电换能器中,电极对换能器特性的影响一般是可以忽略的,但是对于工作在高频的HBAR器件来讲,其尺寸小、压电薄膜较薄并且有效耦合系数低,这时电极对HBAR器件的影响就不能忽略.本文主要就电极对HBAR器件中心频率的影响进行一些分析,以求为实际设计HBAR器件提供一些参考.
电极 高次谐波 谐振器
汤亮 郝震宏 乔东海
中国科学院声学研究所,北京,100080
国内会议
厦门
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209-210
2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）