脉冲激光激发金刚石/硅结构光声效应的有限元分析
金刚石薄膜由于具有很大的热传导率而广泛应用于微电子器件及光电子器件的热控制中,因此准确测量金刚石薄膜的热扩散率非常重要.目前新的光声光热方法热在进一步探索中,因此进行有关金刚石薄膜/硅基底结构在脉冲激光作用下的光声效应的理论研究十分必要.本文介绍了脉冲激光激发金刚石/硅结构光声效应的有限元分析.
金刚石薄膜 光声效应 有限元分析
鞠恒毅 米小兵 张淑仪
南京大学声学研究所,近代声学实验室,南京,210093
国内会议
厦门
中文
207-208
2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）