会议专题

微机电系统用压电驱动器的发展及应用

微驱动器是微机电系统运行的关键,压电驱动器作为新的驱动元件在这一领域迅速发展起来.它具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单.本文介绍了微机电系统、压电驱动器的概念,并对国外微机电系统中压电驱动器的发展及应用情况进行了详细、全面的介绍,同时指出了压电驱动器研究领域需深入探讨的关键技术.

微机电系统 微驱动器 压电陶瓷 压电驱动器 抗干扰能力

张东华 陈维山 刘军芳 陈在礼

哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001

国内会议

中国仪器仪表学会第八届青年学术会议

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1023-1025

2006-07-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)