微机电系统用压电驱动器的发展及应用
微驱动器是微机电系统运行的关键,压电驱动器作为新的驱动元件在这一领域迅速发展起来.它具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单.本文介绍了微机电系统、压电驱动器的概念,并对国外微机电系统中压电驱动器的发展及应用情况进行了详细、全面的介绍,同时指出了压电驱动器研究领域需深入探讨的关键技术.
微机电系统 微驱动器 压电陶瓷 压电驱动器 抗干扰能力
张东华 陈维山 刘军芳 陈在礼
哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001
国内会议
大连
中文
1023-1025
2006-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）