硅微传声器研究进展
硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.自2002年起,中国科学院声学研究所在中国科学院知识创新工程试点项目、国家863计划MEMS重大专项课题和国家自然科学基金”半导体集成化芯片系统基础研究”重大研究计划重点项目的支持下,先后开展了硅微电容传声器、硅微压电传声器及其应用集成系统的研究工作,在方形振膜、圆形振膜、聚亚酰胺结构、微凸防粘连结构的硅微电容传声器和分裂电极硅微压电传声器等研制中,取得了一系列的理论和实验进展,并且结合低噪声升压电路、匹配电路、采样与处理模块、无线接入模块的研制,形成了一些典型的应用集成系统方案和样机,为我国声学微机电器件和系统的发展奠定了良好的基础.本文介绍了相关的研究进展和所突破的关键技术,指出了进一步的发展方向.
硅微传声器 MEMS技术 无线接入
田静 汪承灏 徐联 乔东海 马军 魏建辉
中国科学院声学研究所,北京,100080
国内会议
厦门
中文
161-164
2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）