光学超精密仪器隔振系统的鲁棒H∞控制系统仿真分析

摘要：

本文针对光学超精密仪器隔振系统的不确定性,采用被动隔振和主动隔振相结合的混合控制技术,其中主动隔振采用鲁棒H∞控制策略,该方法克服了由模型和干扰所引起的不确定性,使得控制系统能够有效地抑制模型的非线性和振动的干扰.仿真结果表明,光学超精密仪器在振动的干扰下具有较好的鲁棒稳定性和控制精度.

关键词： 光学超精密仪器 主动振动控制 隔振系统 被动隔振 主动隔振

作者: 陆振宇 朱日宏 肖冬荣

作者单位: 南京理工大学电光学院,南京,210094;南京信息工程大学系统科学与工程研究所,南京,210044 南京理工大学电光学院,南京,210094 南京信息工程大学系统科学与工程研究所,南京,210044

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第八届青年学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 458-460

在线出版日期: 2006-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）