纳米粉体制程线上粒径量测系统之研发
本文主要探讨发展一套线上光纤式动态光散射粉体粒径量测系统,以作为纳米颗粒制程之粒径参数量测与分析,工业界对纳米粉体性质之均一性(Uniformity)需求殷切,为了获到线上制备纳米粉体颗粒之精确粒径大小与分布,本研究藉由雷射动态光散射(Dynamic Light Scattering,DLS)之光学散射原理,并利用光纤探头方式,研制一套线上粉体取样与粒径量测系统,针对目前在北科大所自行研发之真空潜伏纳米流体制程(SANSS),进行系统之整合与测试.本研究针对具100 nm标准粒径大小之聚苯乙烯(Polystyrene)粉体进行系统量测能力评估,以确定研发系统之量测准确度(Accuracy)与重现性(Repeatability),经由实验之结果显示,研发系统所量测之平均粒径最大误差值百分比在8％以下,初步确定量测系统可有效地监控纳米流体制程,提供纳米粉体制程之重要线上信息.
纳米粉体 粒径量测 线上量测 动态光散射 光学量测
陈亮嘉 纪柏宏 张合 钟清枝
台北科技大学自动化科技研究所 台北科技大学机电整合研究所
国内会议
北京
中文
56-59
2006-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）