用于液相生物量检测的单片阵列QCM传感器
设计并制作了一种单片集成的阵列式QCM(石英晶体微天平)传感器,介绍了设计思想和方法,用网络分析仪对实验器件进行了分析.阵列传感器设计成分时扫描激励的工作模式,通过选通电路对阵列各单元进行扫描激励,实现各单元的依次工作,避免了各谐振器单元之间可能的振动耦合,从而可以在单个石英晶片上集成尽可能多的器件.该阵列式QCM传感器加工工艺简单,频率一致性好,平均频率稳定度达到±0.2ppm/h.
石英晶体微天平 生物传感器 网络分析仪
石志松 朱惠忠 王文炎
清华大学深圳研究生院,深圳,518055 深圳清华大学研究院,深圳,518057
国内会议
贵阳、沈阳
中文
1630-1632
2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）