硅PN结基底TiO2氧传感器的特性研究

摘要：

采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法.利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构.基于该结构的氧传感器具有良好的感特性及响应特性,具有响应时间短、信号线性度好、灵敏度高等优点.

关键词： 射频磁控溅射 传感器 金红石相 薄膜工艺

作者: 张辉军 穆长生 王璐

作者单位: 黑龙江大学集成电路重点实验室,哈尔滨,150080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 贵阳、沈阳

会议语种:中文

页码: 1625-1626

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）