高精度单颗粒发生器

摘要：

提出了一种新颖、高精度和高性价比单颗粒发生器的新方法,实验显示该方法可以得到定位精度1mm,最小2μm的标准颗粒,并且可以随意控制标准颗粒的大小尺寸.

关键词： 颗粒发生器 喷墨 定位精度 标准颗粒

作者: 孙国强 郑刚

作者单位: 上海理工大学,上海,200093

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 贵阳、沈阳

会议语种:中文

页码: 1536-1537

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）