一种闭环控制圆光栅角度分度测量装置
研制闭环控制的用于角度标定与测量的分度装置,该装置以永磁直流力矩电机驱动精密轴系主轴的运转带动角度分度盘的转动,以圆光栅测量系统检测主轴的转动角度.由电流环、速度环和位置环组成的闭环控制系统实现零误差分度定位控制.研究圆光栅测量信号处理中信号细分形成的系统非线性误差对分度精度的影响,建立误差修正模型.经检定,系统在±5°的角度范围内分度精度达到±0.2”,定位重复性0.06”.
闭环控制 圆光栅 角度分度 误差修正 角度标定
钱建强 王东生
北京航空航天大学理学院,北京,100083 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
国内会议
贵阳、沈阳
中文
1515-1516,1529
2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）