用于二维精密定位工作台的微位移机构设计

摘要：

微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一.本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析.

关键词： 微位移 柔性铰链 有限元法 精密定位

作者: 郑静琳 李玉和 廖晓华 李庆祥

作者单位: 清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 贵阳、沈阳

会议语种:中文

页码: 1435-1436

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）