含氧膦和查尔酮结构的光敏聚酰亚胺合成

摘要：

本文基于含氟 PI 的优良的溶解性、低光学损耗、介电常数、吸湿性和折光指数等性能，将氧膦引入聚酰亚胺主链中，以提高 PI 在基质上的附着力，同时在主链中引入光敏性基团查尔酮，赋予 PI 以感光性能。由此制备的光敏聚酰亚胺易于加工，光学损耗低，在基质上有一定强度的附着力，成膜后，膜收缩率低而使得加工的器件不易发生形变，因此可望在不断发展的微电子工业的精细器件中得到应用.

关键词： 氧膦 查尔酮 光敏聚酰亚胺

作者: 王维 高侠 胡春红 张爱清

作者单位: 中南民族大学化学与材料科学学院,湖北武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年全国高分子学术论文报告会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 2005-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）