利用聚合物去润湿和粘结制备功能材料的微图案
微米尺度上的有机功能材料微结构的制造对集成的有机光电子器件的加工至关重。近来，利用有机功能材料在图案化的基底上去润湿过程制造其微结构倍受关注。本文提出了利用溶剂驱动去润湿和聚合物粘结刻蚀结合方法加工发光材料微结构（具体实验过程如Fig.1 所示）。旋涂了发光材料膜(如: PhE-PdI4/PS,Alq3/PVK)的二甲基硅氧烷橡胶(PDMS)模版放入饱和溶剂蒸汽中，溶剂分子将逐步扩散到聚合物内部使聚合物分子运动加速，致使薄膜不稳定性增强，进而在其薄弱区域发生去润湿。本实验研究体系会发生两种去润湿过程，第一种去润湿过程发生在模版上微图案的突起区域的中间，这是因为模版突起区域薄膜厚度较薄。去润湿初始会形成孔洞，随时间延长，孔洞逐步变大。最后，由于凹陷区域弯月面产生的拉普拉斯压力较低，材料流入模板的凹陷区域，并被受限在其中；第二种去润湿过程发生在模版微图案的边界，这是由于微图案的边界膜厚度较薄，且微结构边界的高度差产生的重力场造成的。
刻蚀技术 去润湿 微结构 功能材料 在模版微图案
栾世方 程子泳 邢汝博 王哲 于新红 韩艳春
中国科学院长春应用化学研究所 长春 130022
国内会议
北京
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2005-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）