用衍射效率的光谱分布判断多层介质膜光栅掩膜形貌

摘要：

本文提出了一种用衍射效率的特征谱线来判断光栅的形貌的方法。用C方法编写了计算光栅衍射效率的程序，并且借助扫描电子显微镜的照片拟合的结果作为输入参数，计算了光栅衍射效率在不通曝光时间下的光谱分布曲线，并且用此作为判断光栅形貌的判据，得到了很好的结果。

关键词： 光栅 衍射效率 掩膜形貌

作者: 耿康 陈新荣 吴建宏

作者单位: 苏州大学信息光学工程研究所,215006,苏州

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）