离子辅助沉积TiO<,2>光学薄膜的特性

摘要：

本文阐述了用离子辅助沉积（IAD）工艺制备氧化钛(TiO2)光学薄膜的光学，应力及微观特性，并讨论了其与离子辅助沉积成膜工艺参数之间的相互关系。

关键词： 氧化钛光学薄膜 离子辅助沉积 微观结构

作者: 范滨 唐骐

作者单位: 株式会社光驰(OPTORUN),日本琦玉县川越市竹野10-1,350-0801

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）