激光薄膜缺陷研究

摘要：

薄膜缺陷是影响薄膜元件抗激光损伤的重要因素之一，长期以来一直是人们关注和研究的问题。本文首先介绍了薄膜缺陷的种类、特点及成因，在此基础上，分析了缺陷对激光损伤阈值的影响以及激光预处理对缺陷的影响，最后，对于如何减少缺陷和提高损伤阈值也作了讨论。

关键词： 光学薄膜 激光损伤 损伤阈值 激光薄膜 薄膜缺陷

作者: 凌秀兰 黄伟 孔明东 张云洞

作者单位: 中科院光电技术研究所,成都,610209

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）