移相干涉仪的主动抗振技术:光强-相位法振动探测与补偿

摘要：

本文针对光学干涉测量易受环境振动的影响，提出了一种机电反馈式主动抗振方案：光强-相位法振动探测与补偿技术。在这个方案中，光电探测器测量干涉场中任意一点的光强因振动产生波动的情况，据此得到波前相位的变化量，经PZT 光学移相器对波前相位采取象限区分反馈法进行实时校正。实验结果表明，这种方案可以对频率小于50Hz、幅度小于1/2 光波波长的低频环境振动进行有效补偿，得到了稳定的条纹干涉图，同时还能进行移相测量。

关键词： 移相干涉仪 主动抗振 波前相位 实时校正

作者: 吴栋 朱日宏 陈磊 何勇 吴子明

作者单位: 南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京210094;解放军镇江船艇学院教研部,江苏212003 南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）