离轴非球面干涉补偿检验的一种计算机辅助调整技术

摘要：

本文根据初级相差理论和刚体坐标变换原理，提出一种基于数据拟合的离轴非球面干涉补偿检验的计算机辅助调整方法。经实验验证，这种方法可以有效提高补偿检验的调整精度，从而使加工误差与检验误差分离，能够满足高精度离轴非球面检验要求。

关键词： 离轴非球面 干涉补偿检验 光学调整 数据拟合

作者: 郑立功 薛栋林 张学军

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）