大口径碳化硅平面反射镜的数控研磨与在线检测

摘要：

本文介绍了480mmⅹ280mm 的船形碳化硅平面反射镜数控研磨的工艺参数的确定和工艺流程；并介绍了在研磨过程中的使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。给出了研磨前后480mmⅹ280mm 的船形碳化硅平面反射镜面形精度和表面粗糙度的检测结果：面形精度峰谷值（PV）由初始的21.7 微米收敛到4.62 微米，均方根值（RMS）由3.70微米收敛到0.558 微米，并把轮廓检测结果与干涉检测结果进行了比较。

关键词： 碳化硅反射镜 研磨工艺 轮廓检测 面形精度

作者: 范镝 郑立功 张忠玉 张峰 牛海燕 张学军

作者单位: 中国科学院长春光机与物理研究所光学技术中心,长春,130022

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）