投影光刻机调焦调平传感技术的研究进展

摘要：

本文阐述了投影光刻机调焦调平传感器的重要作用及其技术进展，详细介绍了多种典型的调焦调平传感器，并对各种传感技术的光学原理和关键技术进行了分析和比较。

关键词： 投影光刻机 调焦调平传感器 光学原理

作者: 曾爱军 王向朝 徐德衍

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）