金刚石薄膜研究

摘要：

本文主要介绍硼掺杂金刚石膜的生长。采用热灯丝CVD 法在硅上制备了金刚石薄膜，采用三氧化二硼制备了硼掺杂金刚石膜。利用拉曼光谱分析了硼掺杂金刚石膜的生长情况。发现硼掺杂金刚石膜在硅衬底上的生长速度明显低于纯金刚石，并且晶粒明显变小。利用掩膜法在本征金刚石薄膜上择性生长掺杂金刚石。

关键词： 金刚石薄膜 硼掺杂 三氧化二硼 掩膜法 薄膜生长

作者: 潘鹏 李燕 常明

作者单位: 天津理工学院,300191

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）