飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响

摘要：

本文分析了国际上飞秒激光同材料相互作用的实验研究，介绍了飞秒激光加工过程中，各个光参数对加工质量和加工尺寸的影响，在国内首次针对光参数在飞秒激光加工过程中产生的影响做出了分析。

关键词： 飞秒激光 微加工 光参数影响 加工质量 加工尺寸

作者: 于海娟 李港 陈檬 张丙元

作者单位: 北京工业大学激光工程研究院,北京100022 北京工业大学激光工程研究院,北京100022;聊城大学物理科学与信息工程学院,聊城252059

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）