Mirau相移干涉轮廓仪检测微表面三维形貌

摘要：

基于Mirau双光束干涉，设计了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪。Mirau干涉物镜中增加了支撑板，补偿板和分束板的表面质量要求相同，物镜为筒长无限的长工作距物镜。Mirau干涉物镜的数值孔径NA=0.3，放大率β- 10，工作距5mm。移项器是压电陶瓷传感器PZT。连续采集了5 幅光纤连接器端面的干涉图，经五步相移法得到表面三维形貌。

关键词： 相移干涉轮廓仪 表面形貌 压电陶瓷传感器 双光束干涉

作者: 张红霞 张以谟 井文才 周革 李朝辉 李岩

作者单位: 天津大学精密仪器与光电子工程学院300072;光电信息技术科学教育部重点实验室（天津大学）

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）