KrF激光刻蚀PMMA若干现象的分析
本文从聚合物材料和激光光子的基本作用原理出发，研究了KrF 准分子激光加工聚合物材料例如PMMA的作用机理，定性地解释了准分子激光刻蚀PMMA 的两种机理：化学光解和热解聚以及它们在刻蚀过程中的作用；给出了紫外光谱和波长的相对关系对加工过程的影响，用紫外光谱分析了PMMA 和KrF 激光作用过程中化学光解和热解聚分别对加工质量的影响，并给出了我们的解释；对刻蚀表面的光洁度和粗糙度进行了考察并给出了定性的解释和分析，为寻找合理的加工参数提供了定性的理论和实验依据。
聚合物 准分子激光 激光刻蚀 激光光子 化学光解 热解聚
朱效立 王伟 刘世炳 陈涛 左铁钏
北京工业大学激光工程研究院,北京,100022
国内会议
杭州
中文
2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）