光电微表面结构观测镜光学结构的精度分析

摘要：

本文提出了一种针对微观表面结构，特别是对”盲孔”内底面进行高精度检测的光电检测方法，明确提出光电微表面结构观测镜系统设计的技术要求；分析了系统光学结构的特点；介绍了基于尺寸链理论的误差分析公式并重点分析了系统光机综合的焦距精度。系统整体结构轻巧，具有便携化的特点。

关键词： 微表面结构 盲孔 光电检测 尺寸链 焦距误差

作者: 景超 刘娜 张红霞 井文才 张以谟

作者单位: 天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津市,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）