数字化白光扫描干涉仪及其应用

摘要：

数字化的白光扫描干涉仪是当前光学测量中新型高精度工具。本文讨论了本实验室研制的微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪原理及设计特点。前者采用Mirau相移干涉法，应用于纳米精度微形貌测量，后者采用光路补偿白光Michelson干涉形式，用于光纤陀螺绕组中偏振耦合点的位置测量。

关键词： 白光干涉仪 扫描模式 形貌测量 偏振耦合 光学测量

作者: 张以谟 井文才 张红霞 李海峰 李朝辉

作者单位: 光电子技术科学教育部重点实验室,天津大学精密仪器与光电子工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）