基于激光捕捉技术的纳米加工

摘要：

阐述激光捕捉技术（光镊）的基本原理。将几个微米的高强度微粒子（如金刚石、碳化硅等）作为微加工工具，在光镊的驱动下在加工表面产生移动、高速转动及振动，从而完成微米乃至纳米级的加工任务。建立了满足最佳加工条件的实验装置，通过操纵微粒子的运动，实现对硅表面的纳米加工，并通过实验比较，定性分析最佳加工条件（如激光功率和加工基底参数）。

关键词： 激光捕捉 光镊 纳米加工

作者: 王晓娜 白剑 侯西云 杨国光

作者单位: 中国计量学院,杭州310018;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州310027 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）