光镊技术在驱动三维微器件中的应用

摘要：

简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用，并对几种典型光驱动方式进行了比较，最后对利用光镊技术驱动光聚合微机械器件的发展前景做出分析。

关键词： 光镊 光学微加工 光驱动 三维微器件

作者: 祝安定 刘宇翔 黄文浩

作者单位: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥230026

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）