位置敏感元件在静电悬浮技术中的应用
本文简要介绍了以磁悬浮和气悬浮为代表的传统悬浮技术，分析了其局限性，提出了光电反馈式静电悬浮的新方法，说明了实时测距在静电悬浮中的重要性，解释了光学三角法和位置敏感器件的工作原理，并介绍了在此基础上研制的新型实时测距系统，给出了该系统的光路设计和后续处理电路设计。通过一个实验，绘制了该系统的输出电压曲线，测定了其灵敏度和工作范围等性能。结论表明，该系统结构简单，易于集成，且能够很好的满足静电悬浮系统对实时测距的要求。
静电悬浮 实时测距 光学三角法 位置敏感器件
何玉琳 章海军
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州310027
国内会议
杭州
中文
2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）